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质量流量控制器要对管路系统进行干燥处理

2021-09-06 08:56:06
本文关键字:质量流量控制器

  质量流量控制器采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于MOCVD使用的金属氧化物气体和三氯化硼、三溴化硼、氟化氢等强腐蚀性气体建议好采用金属密封的MFC。
 
  质量流量控制器注意以下:
 
  1:怕液体和油污进入MFC,会造成失控,如果质量流量控制器的出口接有液体罐,为避免液体回流需要在质量流量控制器出口加上单向阀;
 
  2:怕使用潮湿的腐蚀性气体,潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈,造成质量流量控制器通道损坏,因此要求在使用腐蚀性气体前,要对管路系统和气体进行干燥处理。
 
  3:怕粉尘,若粉尘进入质量流量控制器会堵塞传感器和分流器,造成测量误差,要求在进气口前加装过滤器。
 
  质量流量控制器传感器采用毛细管传热温差量热法原理,测量气体的质量流量。是由分流器通道、流量传感器、放大控制器和流量调节阀门等部分组成。

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