质量流量控制器实现稳定的流量控制

2021-10-26 15:04:38
本文关键字：质量流量控制器

　　质量流量控制器外壳由金属制成，可高度配置。可长期稳定性和可重复的测量和控制质量流量，具有优异的精度、宽动态范围、数字和模拟接口、灵活机械连接选项、多气体配置等等特点，还可覆盖宽动态测量范围。

　　质量流量控制器可使用各种电气接口和各种流体连接件，测量50 sccm到200 slm的流量。传感器信号可在芯片上直接转换成100%校准和经温度补偿的数字信号。多气体校准可存储在单个器件上。此外，流量控制器还可检查激活的气体校准与实际气体是否匹配。

　　质量流量控制器依赖创新的CMOSens技术，与所有传感器产品一样，在一个CMOS硅芯片上集成了模拟和数字处理电路及高精度传感器元件，可保证优异的性能。配合优质材料，可实现稳定、快速和高度精确的流量控制。同时其通用性使之成为了工业和医疗应用的合适的解决方案，由此可以在医疗行业中得到较广的应用。比如可在这些场所中应用：分析仪器如气相色谱、质谱、热分析；工业过程自动化如涂覆、热处理；半导体行业如等离子蚀刻工艺、薄膜沉积；医疗器械如呼吸机、麻醉机。